第一臺坐標測量機

1959年，法國巴黎國際機床博覽會(huì )上，蘇格蘭Ferranti公司展出了第一臺坐標測量機。該測量機為直角坐標測量機，在×軸和y軸上設置了2個(gè)可移動(dòng)的導軌和讀數裝置，并在z向上放置位移傳感器，測量精度為0.001inch，自此，坐標測量機將測量技術(shù)革命性地從傳統的比較式測量模式帶入空間點(diǎn)坐標測量模式。

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第一臺激光跟蹤儀

1968年，美國Sandia國家實(shí)驗室研制了激光跟蹤儀。激光跟蹤儀基于球坐標測量原理進(jìn)行坐標測量，跟蹤鏡發(fā)出的激光在安置于目標點(diǎn)的反射鏡上發(fā)生反射，回到跟蹤鏡，當目標移動(dòng)時(shí)，跟蹤鏡調整光束方向來(lái)對準反射鏡；返回光束為檢測系統所接收，用來(lái)測算目標的空間位置。激光跟蹤儀量程為幾十米甚至上百米，分辨率為微米或亞微米級。

第一個(gè)觸發(fā)式測頭

1972年，DavidMcMurtry發(fā)明了觸發(fā)式測頭。其原理是，當測球和被測工件接觸時(shí)，電開(kāi)關(guān)發(fā)出脈沖信號，儀器定位系統鎖存測球球心坐標值。觸發(fā)式測頭的出現使測量從依靠人工讀教轉入了借助工具讀數，提高了探測的重復性和精度。

第一臺CNC控制的坐標測量機

1973年，德國Zeiss公司推出了第一臺計算器數字控制（CNC）的三坐標測量機UMM 500，該測量機采用HP9810計算器，并配置了接觸式掃描測頭，三軸測量精度達到0.5ym.CNC數控系統提高了坐標測量技術(shù)的自動(dòng)化水平奠定了快速掃描測量的基礎！提高了測量效率和精度，并增強了坐標測量機的功能。

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第一次提出軟件補償誤差技術(shù)

1977年，R.Hocken等在MooreN.5坐標測量機上實(shí)現了誤差的軟件補償，并為此獲得了國際生產(chǎn)工程科學(xué)院的泰勤獎?wù)隆?/p>

1985年天津大學(xué)精密儀器與光電子工程學(xué)院張國雄教授等對坐標測量機進(jìn)行了軟件誤差補償，將精度從20um提高到2um。此后，關(guān)節臂測量機各種軟件誤差補償技術(shù)迅速發(fā)展，如熱誤差補償、動(dòng)態(tài)誤差補償等，并獲得廣泛應用。

第一臺并聯(lián)機構坐標測量機

1978年，前蘇聯(lián)Lapik公司推出了并聯(lián)機構坐標測量機。該測量機具有結構剛性大、運動(dòng)速度高、誤差不疊加等特點(diǎn)，改善了測量精度和效率。

第一次提出智能坐標測量技術(shù)

1984年，TheodoreH.Hopp等對智能坐標測量技術(shù)進(jìn)行了初步探索，提出從CAD數據庫中提取公差項和測量項目，并利用它們來(lái)驅動(dòng)測量的規劃和伺服控制。此后，智能坐標測量技術(shù)不斷發(fā)展。2004年，筆者提出了“免形狀（form-freey"測量模式，并據此研制了復雜形狀測量機FormFree300，該測量機的意義在于：一臺儀器就是一個(gè)“開(kāi)放”的平臺，不依賴(lài)于被測對象；能快速實(shí)現未知形狀的識別；在"免形狀”測量模式下，擴展了精密量?jì)x的功能，減少了儀器配置；更徹底地避免了操作人員的干預，有利于提高測量精度并降低了人員的勞動(dòng)強度。

第一臺關(guān)節式坐標測量機

1986年，日本小坂研究所的小美濃武久等研制了關(guān)節式坐標測量機。關(guān)節式坐標測量機由多個(gè)關(guān)節組成，安裝有探測系統的測量臂可由人奉引對零件表面進(jìn)行測量。安裝在關(guān)節上的角度傳感器獲得轉動(dòng)角度，結合臂長(cháng)可計算出測量點(diǎn)的坐標值。其主要優(yōu)點(diǎn)為量程大、體積小、質(zhì)量輕、靈活方便、便于現場(chǎng)測量。

第一個(gè)測量軟件國際標準

1983年，美國CAM-1公司對坐標測量機編程規范和尺寸測量接口標準（DMIS）發(fā)起討論，最早的DMIS版本于1987年問(wèn)世。DMIS的目的是為計算器系統和檢測設備之間提供一個(gè)雙向的檢測數據標準，利用這些標準可以為檢測程序和檢測結果建立一個(gè)中性格式。

DMIS綜合了用戶(hù)和制造商的意見(jiàn)，開(kāi)創(chuàng )了編制坐標測量行業(yè)規范的先河，奠定了坐標測量軟件的標準基礎。

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第一臺納米坐標測量機?

1999年，英國國家物理實(shí)驗室（NPL）基于商用測量機PMM 12106研制了一臺小量程測量機。該測量機的空間量程為50mmx50mmx50mm，測量不確定度為50nm。納米三坐標測量機開(kāi)創(chuàng )了坐標測量精度新紀元，從而為微型制造奠定了堅定的技術(shù)基礎。